Мікроаналізатор, EPMA-8050G, Shimadzu
Доступно за замовленням
Електрозондовий мікроаналізатор
Завдяки застосуванню передової електронно-оптичної системи з термопольовим джерелом випромінювання (емітер Шоттки), мікроаналізатор EPMA-8050G має безпрецедентно високу просторову роздільну здатність СЕМ-зображень у широкому діапазоні струмів (аж до 1 мкА). У поєднанні з високопродуктивними спектрометрами рентгенівського випромінювання, оптичним мікроскопом, здвоєним цифровим перетворювачем сканування та новою робочою станцією, система дозволяє досягти неперевершених результатів під час проведення мікроаналізу.
Особливості
- Використання в конструкції електронної гармати високопродуктивного емітера Шоттки дозволило значно звузити діаметр пучка і забезпечити надвисоку просторову роздільну здатність у всьому діапазоні напруг, що прискорюють.
- Роздільна здатність зображення у вторинних електронах (3 нм при прискорюючій напругі 30 кВ) є найвищою серед систем EPMA.
Стабільний електронний пучок (максимальний зондовий струм 3 мкА) дозволяє досягти високої просторової роздільної здатності та чутливості у всьому діапазоні струмів без необхідності зміни апертури об’єктива. - Двостадійна система вакуумування забезпечує постійний високий вакуум у камері електронної гармати і, відповідно, високу стабільність пучка, необхідну прецизійного мікроаналізу.
|