Микроанализатор, EPMA-8050G, Shimadzu

Электрозондовый микроанализатор

Благодаря применению передовой электронно-оптической системы с термополевым источником излучения (эмиттер Шоттки), микроанализатор EPMA-8050G имеет беспрецедентно высокое пространственное разрешение СЭМ-изображений в широком диапазоне токов (вплоть до 1 мкА). В сочетании с высокопроизводительными спектрометрами рентгеновского излучения, оптическим микроскопом, сдвоенным цифровым преобразователем сканирования и новой рабочей станцией, система позволяет достичь непревзойденных результатов при проведении микроанализа.

Особенности

Использование в конструкции электронной пушки высокопроизводительного эмиттера Шоттки позволило значительно сузить диаметр пучка и обеспечить сверхвысокое пространственное разрешение во всем диапазоне ускоряющих напряжений.
Разрешение изображения во вторичных электронах (3 нм при ускоряющем напряжении 30 кВ) является самым высоким среди систем EPMA.
Стабильный электронный пучок (максимальный зондовый ток 3 мкА) позволяет достичь высокого пространственного разрешения и чувствительности во всем диапазоне токов без необходимости изменения апертуры объектива.
Двухстадийная система вакуумирования обеспечивает постоянный высокий вакуум в камере электронной пушки и, соответственно, высокую стабильность пучка, необходимую для прецизионного микроанализа.