Микроанализатор, EPMA-1720H, Shimadzu

Электронно-зондовые микроанализаторы

Новое поколение приборов для высокоточного рентгеноспектрального анализа нано- и микрообъектов позволяет получать изображения поверхности в режиме растровой электронной микроскопии (во вторичных или отраженных электронах), проводить качественный и количественный элементный анализ, картирование распределения элементов по площади и концентрации, идентификацию элементов в следовых количествах, распределение по составу в отраженных электронах, химическое состояние элемента и тип механической связи.

Особенности

В приборе реализован более высокий угол регистрации лучей рентгеновского излучения (52.5°), что является важнейшим условием улучшения его аналитических характеристик, поскольку это обеспечивает лучшее пространственное разрешение, повышенную чувствительность, за счет меньшего поглощения рентгеновского излучения, и уменьшает поглощение при анализе дна углубления постороннего вещества в углублении (высокоточный анализ шероховатых образцов).

Микроанализатор отличается максимальной стабильностью и воспроизводимостью, и является эталонным для микроанализа. Чувствительность при анализе некоторых элементов достигает десятков ppm.

Встроенный оптический микроскоп с увеличением около 540Х, коаксиальный и конфокальный с электронным зондом, позволяет одновременно просматривать РЭМ изображение и оптическое изображение, несущее информацию о цвете образца.

Использование в конструкции высокоэффективных кристаллов-анализаторов Йоханссона способствует достижению идеальной конвергенции без аберрации.
В приборе размещается до пяти 4-дюймовых спектродисперсионных волнодисперсионных спектродиметров, которые перекрывают полный спектральный диапазон.