Индексная головка зонда, RTP20, Metrology

Функции и преимущества RTP20:

• Повышение производительности достигается благодаря смене модуля зонда и автоматизированному индексированию без необходимости постоянной повторной квалификации.
• Встроенный удлинитель вместе с имеющимися удлинителями позволяет достигать до 168 мм (включая максимальную длину стилуса).
• Использование движения CMM для блокировки, разблокировки и ориентации головки вместе с MCR20 обеспечивает полностью автоматизированную систему.
• Модули TP20 имеют переход во всех направлениях.
• Магнитное крепление обеспечивает дополнительную защиту от столкновения в X и Y.
• Повторяемость позиции: 1,5 мкм (TP20SF) 2,5 мкм (TP20EM2)